Сосредоточьтесь на крупных прорывах Китая в технологии литографии.
Недавно Министерство промышленности и информационных технологий Китая официально выпустило «Руководство по продвижению и применению первого крупного технического оборудования (издание 2024 г.)» (далее «Руководство»), целью которого является содействие инновационному развитию. и широкое применение первого крупного технического оборудования в Китае, и в то же время укреплять синергию национальной политики поддержки, такой как промышленность, финансы, финансы, а также наука и технологии. В «Руководстве» четко перечислено различное оборудование для производства интегральных схем, такое как машины для литографии с фторидом криптона и машины для литографии с фторидом аргона, что свидетельствует о том, что Китай совершил значительный технологический прорыв в области литографических машин высокого класса.
Важнейшее значение прорывов в технологии литографии
Успешный выбор машин для литографии с фторидом криптона и машин для литографии с фторидом аргона является не только важным проявлением независимых инновационных возможностей Китая в цепочке полупроводниковой промышленности, но и солидным шагом, предпринятым Китаем в глобальной научно-технической конкуренции. Улучшение технических параметров этих двух литографических машин, являющихся ключевым оборудованием для производства интегральных схем, напрямую отражает глубокие достижения Китая в области точного производства и оптической техники.
Технические параметры и международные стандарты
· Машина для литографии с фторидом криптона: длина волны источника света достигает 248 нанометров, разрешение меньше или равно 110 нм, а точность наложения составляет 25 нм. Этот показатель близок к уровню производительности основных международных литографических машин среднего класса, что свидетельствует о конкурентоспособности Китая на рынке литографических машин среднего класса.
· Машина для литографии с фторидом аргона: она более совершенная, с длиной волны источника света 193 нанометра, разрешением менее или равным 65 нм и точностью наложения менее 8 нм. Этот технический параметр не только превосходит предыдущий уровень отечественных литографических машин, но и сопоставим с продукцией ведущих мировых производителей литографических машин, что свидетельствует о большом потенциале Китая в области передовых процессов.
Содействие промышленному применению и расширению рынка
Выпуск «Каталога руководств» будет способствовать дальнейшему продвижению и применению на рынке отечественных высокотехнологичных литографических машин, таких как литографические машины с фторидом криптона и литографические машины с фторидом аргона. Ожидается, что за счет усиления синергии национальной политики поддержки Китай сломает монополию иностранных технологий и увеличит долю отечественных литографических машин на мировом рынке. В то же время это также будет стимулировать инновационную жизнеспособность добывающих и перерабатывающих предприятий в отечественной цепочке полупроводниковой промышленности и формировать более полную промышленную экологическую систему.
Перспективы будущего развития
Ожидается, что благодаря постоянному развитию и расширению применения отечественной технологии литографии полупроводниковая промышленность Китая перейдет от «следующей» к «идущей бок о бок» и даже «лидерской». Это не только значительно усилит голос Китая в глобальной цепочке полупроводниковой промышленности, но и обеспечит более диверсифицированные и экономически эффективные полупроводниковые решения для отечественных и зарубежных клиентов. Заглядывая в будущее, у нас есть основания полагать, что полупроводниковая промышленность Китая будет ярче сиять на мировой научно-технической арене.
Короче говоря, издание Министерством промышленности и информационных технологий «Руководства по продвижению и применению первого крупного технического оборудования (издание 2024 года)» является важной вехой в развитии полупроводниковой промышленности Китая. Он не только демонстрирует выдающиеся достижения Китая в области технологии литографии, но и указывает направление будущего развития полупроводниковой промышленности Китая.